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國奧高精力控音圈電機,直擊MEMS激光雷達量產核心

National Olympic high energy voice coil motor

根據(jù)當前業(yè)內標準,汽車的自動駕駛功能可分為 L0 到 L5六個級別。每一個級別的上升都意味著,ADAS(高級駕駛輔助系統(tǒng)需具備更靈敏的探測性和對更龐雜數(shù)據(jù)的快速處理能力,以達到更安全穩(wěn)定的駕駛體驗。





目前大多數(shù)汽車廠商在設計 L2 級汽車時,一般采用“多個雷達+攝像頭傳感器”的組合,但要達到 L3 及更高級別,還需要其他傳感器的輔助,其中最受關注的就是LIDAR(激光雷達)。



LIDAR(激光雷達)



LIDAR能在1秒內發(fā)射高達數(shù)百萬的脈沖光,形成龐大的點云,繪制出物體的精確輪廓,從而構建出周圍環(huán)境的三維模型。能比攝像頭構建更真實的3D環(huán)境,比毫米波雷達具有更準確的物體識別能力。





當前,LIDAR 已被開發(fā)為 ADAS 的重要組成部分



根據(jù)結構,激光雷達可以分為兩大類:機械式激光雷達和固態(tài)激光雷達。機械式的裝配困難、掃描頻率低;固態(tài)激光雷又可分為MEMS半固態(tài)激光雷、Flash固態(tài)激光雷和OPA固態(tài)激光雷三種。


其中,MEMS半固態(tài)激光雷達是當前的市場主流,被認為是量產的首選。







原因在于,MEMS半固態(tài)激光雷達本質是一種硅基半導體元件,采用半導體工藝生產,即把所有的機械部件集成到單個芯片上,工藝制程并不高,技術成熟、成本低,且微鏡震幅小、頻率高,相對而言量產難度較低。



MEMS制造工藝



目前比較常用的MEMS制造工藝是表面微加工(Surface Micro Machining),通過三維堆疊技術把器件固定在硅晶圓上,與IC生產工藝兼容,集成度較高。


但是,MEMS制造工藝的量產率較IC制造工藝更低。






這是由于MEMS是一種三維機械結構,而IC則是平面結構,封裝難度更高;而且MEMS器件對于光、磁、熱、力等外部因素更加敏感,MEMS激光雷達還需達到車規(guī)級標準,因而對生產設備和生產環(huán)境的要求更為苛刻。





僅從“力”“位移”這二個變量來看,在MEMS微鏡的封裝和微鏡元件的貼裝過程中對MEMS器件進行取放時,真空負壓吸嘴的定位精度和重復性,拾取和放置的力度,以及停留的時間等,都是需要重點注意的問題。





目前,MEMS產品的封裝需要定制特殊形狀及材料的吸嘴,配合10g~30g的取放力度,來保證封裝過程中MEMS芯片無壓傷或隱裂等情況的發(fā)生。







精細可控的鍵合壓力,降低損耗


國奧直線旋轉電機帶有“軟著陸”功能,可實現(xiàn)±1.5g以內的穩(wěn)定力度控制,支持速度、加速度


及力度控制的程序化設定,使貼裝頭能夠以非常輕的壓力觸碰MEMS元件,降低損耗。




| 高精度對位、貼片,保證良率


微米級位置反饋,獲取精準數(shù)據(jù),±0.01N力控精度,±2μm直線重復定位精度,±0.01°旋轉重


復定位精度,徑向偏擺小于10μm,編碼器分辨率標準1μm,可在高速運行狀態(tài)下仍穩(wěn)定輸出,


提升良率及可靠性。



| 突破式Z軸設計,提升速度


采用一體化高度集成設計,將傳統(tǒng)“伺服馬達+滾珠絲桿”合二為一,解決了Z軸自重負載問題,


中空Z軸高速取放,推力曲線平滑,峰值推力8-50N,有效行程10-50mm ,超高循環(huán)壽命,實


現(xiàn)高效生產。









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