半導(dǎo)體測(cè)試分選高速應(yīng)用新利器:國(guó)奧科技“電機(jī)+驅(qū)動(dòng)一體化”Z軸音圈電機(jī)解決方案
2023-10-23
半導(dǎo)體測(cè)試分選高速應(yīng)用新利器:國(guó)奧科技“電機(jī)+驅(qū)動(dòng)一體化”Z軸音圈電機(jī)解決方案
2023-10-23 00:00:00
前言:
工業(yè)5.0概念強(qiáng)調(diào):將人類的創(chuàng)新能力與機(jī)器的高效率和精確性相結(jié)合,以實(shí)現(xiàn)更高的生產(chǎn)效率、靈活性和個(gè)性化生產(chǎn)。
隨著先進(jìn)封裝的不斷推進(jìn),晶圓級(jí)封裝、2.5D和3D封裝等技術(shù)逐漸顯露出巨大潛力,封測(cè)設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)中的占比明顯提升。
未來(lái),高速度、高精度、小型化、高穩(wěn)定性、功能高度集成的運(yùn)動(dòng)控制解決方案是半導(dǎo)體設(shè)備制造商率先占領(lǐng)市場(chǎng)的關(guān)鍵。
半導(dǎo)體測(cè)試分選環(huán)節(jié)是后道封測(cè)關(guān)鍵工序,速度和精度會(huì)直接影響芯片封測(cè)良率、產(chǎn)能和成本,這也是設(shè)備用戶和制造商共同面臨的難題!
現(xiàn)有的轉(zhuǎn)塔式測(cè)試分選機(jī),無(wú)論是采用轉(zhuǎn)盤整體升降的設(shè)計(jì)方式,或者是用伺服凸輪完成工位獨(dú)立升降的設(shè)計(jì)方式,都無(wú)法同時(shí)實(shí)現(xiàn)設(shè)備成本低、生產(chǎn)高效、平臺(tái)操作簡(jiǎn)單、靈活性強(qiáng)這些功能。
于是,針對(duì)半導(dǎo)體測(cè)試分選設(shè)備高速、高精度應(yīng)用的難題,國(guó)奧科技推出了“電機(jī)+驅(qū)動(dòng)一體化”Z軸音圈電機(jī)GAS-LAA4510-1-48(以下簡(jiǎn)稱LAA4510)全直驅(qū)解決方案。
LAA4510將電機(jī)和驅(qū)動(dòng)器高度集成在一個(gè)單一的結(jié)構(gòu)中,系統(tǒng)緊湊,減少了復(fù)雜布線和接口,電機(jī)傳動(dòng)效率更高。其加速度大于10 G,5 mm行程往返時(shí)間小于35 ms,位置過沖小于2 um,能高速完成測(cè)試分選。
LAA4510在半導(dǎo)體測(cè)試分選設(shè)備應(yīng)用示例
相比傳統(tǒng)的轉(zhuǎn)塔式測(cè)試分選機(jī),采用“電機(jī)+驅(qū)動(dòng)一體化”Z軸音圈電機(jī)LAA4510來(lái)實(shí)現(xiàn)直線運(yùn)動(dòng)的設(shè)計(jì)方案,能輕松實(shí)現(xiàn)高速度、高精度作業(yè),設(shè)備及生產(chǎn)成本低,具有更強(qiáng)的穩(wěn)定性和靈活性,而且平臺(tái)操作更便捷。
LAA4510性能參數(shù)
國(guó)奧科技"電機(jī)+驅(qū)動(dòng)一體化Z軸音圈電機(jī)”運(yùn)動(dòng)控制方案具有以下幾大優(yōu)勢(shì):
LAA4510特有驅(qū)動(dòng)裝置,可搭配各種吸嘴高速直線運(yùn)動(dòng),具有高精度的電機(jī)性能,以及軟著陸功能。其力控精度優(yōu)于±0.01N,±2μm直線重復(fù)定位精度,±0.01°旋轉(zhuǎn)重復(fù)定位精度,±2μm直線度,±1μm徑向跳動(dòng),能滿足半導(dǎo)體測(cè)試分選設(shè)備高速度、高精度應(yīng)用的需求。
02 [靈活性強(qiáng),適用多場(chǎng)景]
LAA4510結(jié)構(gòu)更加緊湊,減少了組件的數(shù)量和占用空間。其輕巧便攜,靈活性更強(qiáng),方便集成到現(xiàn)有的緊湊設(shè)備系統(tǒng)中,項(xiàng)目適應(yīng)能力強(qiáng)。適用于各種對(duì)緊湊性、集成度和精度要求較高的應(yīng)用場(chǎng)景,例如自動(dòng)化設(shè)備、醫(yī)療儀器、半導(dǎo)體制造設(shè)備、消費(fèi)電子組裝測(cè)試等。
03[簡(jiǎn)化安裝和維護(hù),節(jié)約成本]
由于LAA4510采用“電機(jī)+驅(qū)動(dòng)一體化設(shè)計(jì)”,減少了布線和連接的復(fù)雜性,可以快速進(jìn)行系統(tǒng)部署,而且后期故障排除和維護(hù)更便捷,減少了生產(chǎn)線的停機(jī)時(shí)間,有效降低了維護(hù)和生產(chǎn)成本。
04 [更高的傳動(dòng)效率和穩(wěn)定性]
“電機(jī)+驅(qū)動(dòng)一體化設(shè)計(jì)”使得LAA4510 Z軸音圈電機(jī)能極大減少信號(hào)傳輸延遲,提高系統(tǒng)的響應(yīng)速度,傳動(dòng)效率更高;一體化設(shè)計(jì)有效降低連接件在使用過程中產(chǎn)生松動(dòng)的風(fēng)險(xiǎn),提高了整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和壽命。進(jìn)一步提升貼片、檢測(cè)、組裝等生產(chǎn)效率和生產(chǎn)質(zhì)量。
05 [智能化控制策略]
LAA4510集成了先進(jìn)的控制算法和智能化接口,實(shí)現(xiàn)了簡(jiǎn)單、快捷的系統(tǒng)控制,用戶通過簡(jiǎn)單的參數(shù)調(diào)整即可對(duì)輸出力度、速度、加速度等進(jìn)行編程控制,能夠適應(yīng)不同產(chǎn)品和生產(chǎn)需求,實(shí)現(xiàn)快速切換和調(diào)整。
切合時(shí)代需求,融合創(chuàng)新,才能在千帆競(jìng)發(fā)、百舸爭(zhēng)流的時(shí)代洪流中站穩(wěn)腳跟!
國(guó)奧科技將繼續(xù)加大對(duì)高精密制造設(shè)備核心部件的研發(fā),助力國(guó)產(chǎn)高端設(shè)備走向世界。
國(guó)奧科技電機(jī)技術(shù)優(yōu)勢(shì):
01可編程高精力控,降低損耗
國(guó)奧直線旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶有“軟著陸”功能,可實(shí)現(xiàn)±1g以內(nèi)的穩(wěn)定力度控制,支持速度、加速度及力度控制的程序化設(shè)定,使貼裝頭能夠以非常精準(zhǔn)的壓力觸碰芯片表面,降低損耗;
采用中空Z(yǔ)軸設(shè)計(jì),預(yù)留氣管接口,真空吸取、即插即用,并可根據(jù)元件結(jié)構(gòu)及特性提供定制化服務(wù)。
02高精度對(duì)位、貼片,保證良率
微米級(jí)位置反饋,獲取精準(zhǔn)數(shù)據(jù),±0.01N力控精度,±2μm直線重復(fù)定位精度,±0.01°旋轉(zhuǎn)重復(fù)定位精度,徑向偏擺±1μm,編碼器分辨率標(biāo)準(zhǔn)1μm,可在高速運(yùn)行狀態(tài)下仍穩(wěn)定輸出,提升良率及可靠性。
03“Z+R”軸集成設(shè)計(jì),提升速度
創(chuàng)新性的雙軸集成化解決方案,將傳統(tǒng)“伺服馬達(dá)+滾珠絲桿”合二為一,解決了Z軸自重負(fù)載問題,高速、精準(zhǔn)完成元件Pick & Place,貼裝等動(dòng)作,推力曲線平滑,峰值推力8-50N,有效行程10-50mm ,超高循環(huán)壽命,實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)。
04體積小,重量輕,可電機(jī)組合排列
直線旋轉(zhuǎn)電機(jī)LRS1325重量?jī)H530g,輕巧的機(jī)身重量大大減輕了設(shè)備高速運(yùn)動(dòng)中負(fù)載帶來(lái)的影響。電機(jī)最小厚度僅為13mm,在設(shè)備有限的內(nèi)部空間中可以并排安裝多組電機(jī),減少芯片貼裝往復(fù)運(yùn)動(dòng)過程,提升設(shè)備貼裝效率。
05提供“電機(jī)+驅(qū)動(dòng)一體化”設(shè)計(jì)方案
直線電機(jī)LAA4510采用“電機(jī)+驅(qū)動(dòng)一體化”設(shè)計(jì),其系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,電機(jī)傳動(dòng)效率更高,可滿足先進(jìn)封裝技術(shù)對(duì)半導(dǎo)體測(cè)試分選設(shè)備的高速度、高精度、高效率的應(yīng)用需求。
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